| 2004 №02 (02) | 2004 №02 (04) |
Журнал «Современная электрометаллургия», № 2, 2004 г., с. 10-15
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждения неорганических материалов и покрытий
Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук
Международный центр электронно-лучевых технологий Ин-та электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины, КиевРеферат
Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении.
Technical characteristics and design features of electron beam installations, designed at the International Center of electron beam technologies of the E.O.Paton Electric Welding Institute and used for producing materials and coatings by electron beam evaporation and subsequent condensation in vacuum, are presented. The ways for further development and improvement of electron beam equipment, connected with implementation of new technological processes in machine-building. are considered.
Ключевые слова: электронно-лучевое испарение и осаждение (EB-PVD); неорганические материалы; электронно-лучевые установки; покрытия; лопатки турбин
Список литературы
1. Movchan В. A. EB-PVD technology in gas turbine industry: present and future J. of Metals. — 1996. — N 11. — P. 40-45.2. Movchan B. A. Functionally graded EB-PVD coatings Surface and Coat. Technol. - 2002. - V. 149. - P. 252-262.
3. Яковчук К. Ю., Рудой Ю. Э. Одностадийная электроннолучевая технология осаждения термобарьерных градиентных покрытий // Современная электрометаллургия. — 2003. - № 2. - С. 10-16. '
4. Bnnshah R. F. Vacuum evaporation — history, recent developments and applications . Zeitsehrift fur Metallkunde. - 1984. - 75. - N 11. - S. 840-846.
5. Электронно-лучевая установка для получения порошков чистых металлов и сплавов методом испарения и конденсащш в вакууме Б. А. Мовчан, А. А. Чевычелов, Р. С. МпсюрУ ЕВ. Дабнжа .. .. Специальная электрометаллургия. — 1983. — Вып. 51. — С. 62-65.
6. Бадиленко Г. Ф., Чуйков Ю. Б., Мовчан Б. А. Электронно-лучевая установка для получения конденсатов на основе углерода /7 Там же. — 1990. — Вып. 69. — С. 55-59.
7. Пап П. А., Малашенко И. С., Иванов А. М. Лабораторная установка для получения защитных покрытий различного'назначения электронно-лучевой конденсацией в вакууме Там же. — 1975. — Вып. 27. — С. 98-104. '
8. Электронно-лучевая установка УЭ-202 для нанесения покрытии на проволоку и ленту / Ь. Е. Патон, В. И. Ульянов, Б. А. Мовчан и др. // Пробл. спец, электрометаллургии. — 1992. — № 3. — С. 38—44.
9. Электронно-лучевая установка для нанесения покрытий на металлическую ленту / Г. Ф. Бадиленко, А. В. Демчишин, А. Е. Кушниренко и др. // Там же. — 1987. — № 2. - С. 44-47.
10. Промышленная электронно-лучевая установка УЭ-175М для нанесения защитных покрытий на лопатки газовых турбин / А. И. Чвертко, В. В. Щербицкий, Б. А. Мовчан и др. Специальная электрометаллургия. — 1982. — Вып. 50. - С. 53-61.
11. Мовчан Б. А., Малашенко И. С. Жаростойкие покрытия, осаждаемые в вакууме. — Киев: Наук, думка, 1983. — 232 с. “ “ “
12. Reinhold Е., Botzler Р., Deus С. EB-PVD process management tor highly productive zirconia thermal barrier coating of turbine blades Surface and Coating Technology. — 1999. - V. 120-121. - P. 77-83.
13. Aichert II., Hoffmann O., Stark F., Stephan II. Заявка 2821131, IC1 C23 C13 03 Vakuumbeschicntungsanlage mit einer Kondensat-Auffangeinrichtung. — Опубл. 15.11.79.
14. Feuerstein A., Dietrich IV., Lammermann II. Advanced PVD overlay coatings equipment for aircraft gas turbine applications // Lokyo International Gas turbine Congress 1987, October 26 to 31 - P. 271-278.
This article is licensed under a Creative Commons Attribution Non-Commercial 4.0 International (CC-BY-NC).