Print
2007 №01 (05) 2007 №01 (07)

Electrometallurgy Today 2007 №01


Журнал «Современная электрометаллургия», № 1, 2007 г., с. 21-24

Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда

И.Ф. Червоный, Е.Я. Швец, Р.Н. Воляр, А.С. Голев

Запорож. гос. инж. акад.

Реферат
Исследовано влияние фоновой примеси кислорода и суммарной концентрации примесей на время жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ) в монокристаллах кремния, выращенных методом Чохральского и предназначенных для использования в солнечной энергетике. Рассмотрен вопрос распределения концентрации кислорода и времени жизни ННЗ по длине монокристалла.
The effect of background impurity of oxygen and total concentration of impurities on life of non-equilibrium carriers of charge (NCC) in silicon single crystals grown by the method of Czochralski and designed for use in solar power engineering was studied. Problem of distribution of oxygen concentration and NCC life in the single crystal length was studied.
Ключевые слова: метод Чохральского; монокристаллический кремний; время жизни НИЗ; экранировка; примесь; кислород; углерод

Список литературы

1. Япония прокладывает путь к применению более эффективных солнечных установок. — Бюл. пнж. коммерческой информ. № 1-2; Опубл. 11.01.2005. - С. 14.
2. В солнечной энергетике ФРГ. — Бюл. пнж. коммерческой информ. № 137; Опубл. 29.11.2005. - С. 11-13.
3. Фереибрух А., Бьюб Р. Солнечные элементы: Теория п эксперимент Пер. с англ., под ред. М. М. Колтуна. — М.: Энергоатомиздат, 1987. — 280 с.
4. Технология полупроводникового кремния / Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др. — М.: Металлургия. 1992. — 408 с.
5. ASTM F 1188 Standard test method for interstitial atomic oxygen content of silicon bv infra-red absorption // Annual took of ASTM Standards! - 1997. - № 10. - P. 10-12.
6. ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия. — М.: Изд-во стандартов. 1990. - 72 с. '
7. Пашельский А. Я. Технология полупроводниковых материалов. — М.: Металлургия, 1972. — 432 с.
8. Бабич В. М., Блецкан II. И., Венгер Е. Ф. Кислород в монокристаллах кремния. — Киев: Интерпрес Лтд., 1997. - 240 с.
9. Батенков В. А. Электрохимия полупроводников. Учеб, пособие. — 2-е изд. доп. — Барнаул: Изд-во Алт. ун-та, 2002. - 162 с. '
This article is licensed under a Creative Commons Attribution Non-Commercial 4.0 International (CC-BY-NC).