| 2006 №03 (03) | 2006 №03 (05) |
Журнал «Современная электрометаллургия», № 3, 2006 г., с. 15-19
Структура и свойства толстых конденсатов MgO, полученных электронно-лучевым испарением
Я.А. Стельмах, Т.В. Мельниченко, Б.А. Мовчан
Ин-т электросварки им. E. О. Патона HAH Украины. КиевРеферат
Исследовано влияние температуры подложки на структуру, морфологию поверхности, микротвердость и вязкость разрушения K1C конденсантов MgO толщиной до 100 мкм, полученных электронно-лучевым испарением и осаждением в вакууме на подложках из стали Ст3 в интервале температур 300…1000 °С. Представлена температурная зависимость ширины столбчатых кристаллитов MgO. Показано, что микротвердость MgO постоянна в заданном диапазоне температур и не меняется при высокотемпературном отжиге. Установлено, что температура конденсации предопределяет характер формирования рельефа поверхности и текстуру конденсатов.
The effect of substrate temperature on structure, morphology of surface, microhardness and fracture toughness K1C of MgO condensates of up to 100 mm thickness, produced by electron beam evaporation and deposition in vacuum on substrates of St.3 within the 300…1000 °С interval of temperatures, was studied. Temperature relationship of width of MgO columnar crystallites is given. It is shown that microhardness of MgO is constant in the preset range of temperatures and not changed at high-temperature annealing. It was established that the temperature of condensation predetermines the nature of formation of the surface relief and texture of condensates.
Ключевые слова: электронно-лучевое испарение и осаждение; MgO; толстые конденсаты; подложка с градиентом температур; мпкротвердость; вязкость разрушения; морфология поверхности; микроструктура; структурные зоны
Список литературы
1. Yoon Jong-Gul, Кіт Кип. Growth of highly textured LiNbO3 thin film on Si with MgO buffer layer through the sol-gel process // Applied physics letters. — 1996. — 68. No. 18. - P. 2523-2525. “2. Fork D. K., Anderson G. B. Epitaxial MgO on GaAs(lll) as a buffer laver for z-cut epitaxial lithium niobate / / Ibid. - 1993. - 63. № 8. - P. 1029-1031.
3. Kim Soo Gil and Kim Hyeong. MgO thin films deposited by electrostatic spray pyrolysis for protecting layers in АС-plasma display panel // J. of the Korean physical society. - 1999. - 35. № 7. - P. 180-183. '
4. Мовчан Б. А., Демчишин А. В. Исследование структуры п свойств толстых вакуумных конденсатов никеля, титана, вольфрама, окнсн алюминия н двуокиси циркония ... Физика металлов н металловедение. — 1969. — 28. № 4. - С. 653-660.
5. Petrov I., Barna Р. В., Ilultman L., Greene J. Е. Microstructural evolution during film growth 5 J. Vac. sci. technol. A. - 2003. - 21. № 5. - P. S. 117-S. 128.
6. Куликов И. С. Термическая диссоциация соединений. — М.: Металлургия. 1969. — 573 с.
7. Yoon Jong-Gul, Kyoo Oh Hun, Jong Lee Sung. Growth characteristics and surface roughening of vapor-deposited MgO thin films Physical review B. — 1999. — 60. № 4. - P. 2839-2843. “
8 Niihara K., Morena R. DPH. Hasselman. Evaluation of Kic of brittle solids by the Indentation method with low crackto-indent ratio 5 J. materials science letters. — 1982. — 1. № 1. - P. 13-16.
9. Khan M. Y., Brown L. M., Chaudhri M. M. The effect of crystal orientation on the indentation cracking and hardness of MgO single crystals .. .. J. Phys. D: Appl. Phys. — 1992. - N25. - P. A257-A265.
This article is licensed under a Creative Commons Attribution Non-Commercial 4.0 International (CC-BY-NC).