| 2003 №02 (06) | 2003 №02 (08) |
Журнал «Современная электрометаллургия», № 2, 2003 г., с. 34-36
Исследование электромагнитных полей плавильного и подогревающего индукторов при бестигельной зонной плавке
С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Е.Я. Швец
Запорожская государственная инженерная академияРеферат
В работе рассчитываются магнитные поля плавильного и подогревающего индукторов. Анализируется их влияние на процессы, протекающие при индукционной бестигельной зонной плавке кремния как внутри расплава, так и на его поверхности. Предлагается способ повышения степени воздействия магнитного поля.
In this work the magnetic fields of melting and preheating inductors are calculated. Their influence on the processes proceeding in induction crucible-free zone melting of silicon both inside the melt and also at its surface is analyzed. Method of improving the degree of magnetic field action is offered.
Ключевые слова: индуктор; магнитное иоле; критерий Тейлора; критерий Гартмана; конвекци
Список литературы
1. Выращивание полупроводниковых монокристаллов с электромагнитным воздействием на расплав / Ю. М. Гельфгат, В. С. Земсков. М. Р. Раухман. М. 3. Соркин // Процессы роста полупроводниковых кристаллов п пленок. — Новосибирск: Наука. 1988. — С. 38-55.2. Floating zone growth of silicon in magnetic fields: IV. Rotating magnetic field / P. Dold, A. Croll, M. Lichtensteiger et al. J. Ciystal Growth. - 2001. - V. 231. - P. 95-106.
3. Silicon float zone process with a week transverse magnetic field and crystal rotation / Ma. Nancy. J. S. Walker. A. Ludge, H. Riemann // J. Electrochemical Society. — 2000. - V. 147. - P. 3529-3534. '
4. Muhlbauer A., Erdmann H’, Keller W. Electrodynamic convection in silicon floating zones // J. Crystal Growth. - 1983. - V. 64. - P. 529-545.
5. Джонстон В. С., Тиллер В. А. Регулирование потоков жидкости во время кристаллизации // Зонная плавка. — М.: Металлургия. 1966. — С. 71-94.
Эта статья в открытом доступе по Creative Commons Attribution Non-Commercial 4.0 International (CC-BY-NC).