Журнал «Современная электрометаллургия», № 3, 2005 г., с. 36-43
Процессы разделения при электронно-лучевом испарении сплавов и смесей веществ
А.В. Махоткин, И.С. Малашенко, В.И. Топал
Ин-т электросварки им. E. О. Патона HAH Украины. Киев
Реферат
Рассмотрены газодинамические аспекты электронно-лучевого испарения. Обнаружен и исследован эффект пространственного разделения компонентов пара с различной молекулярной массой, суть которого заключается в обогащении конденсата в центре парового потока компонентом с большей молекулярной массой, а на периферии потока - компонентом с меньшей молекулярной массой. Представлены результаты экспериментов по испарению различных сплавов. На основе обнаруженного эффекта предложен способ разделения изотопов.
Gas-dynamic aspects of electron beam evaporation are considered. Effect of space separation of vapor components of a
different molecular mass was revealed and investigated, the principle of which consists in condensate enrichment with
a component of a large molecular mass in the center of a vapor flow, while at the flow periphery - with a component of
a smaller molecular mass. Results of experiments on evaporation of different alloys are presented. A method of isotopes
separation has been offered on the basis of the revealed effect.
Ключевые слова: электронно-лучевая технология;
интенсивное испарение; динамика разреженных газов; слой
Кнудсена; процессы разделения
Список литературы
1. Технология тонких пленок: Справочник Под ред.
Л. Майсселла, Р. Глэнга. В 2 т. — М.: Сов. радио,
1977. - Т. 1. - 664 с.
2. Шиллер 3., Гайзиг У. Электронно-лучевая технология. —
М : Энергия, 1980. - 528 с.
3. Preuss D. R., Расе S. A. The supersonic expansion of pure
copper vapor // J. chem. phys. — 1979. — 71, № 9. —
P. 3553-3560. '
4. Zhou X. W., Johnson R. A. A molecular dynamics study of
nickel vapor deposition // Acta mater. — 1997. — 45,
№ 4. - P. 1513-1524.
5. Лабунцов Д. А., Крюков А. П. Процессы интенсивного
испарения .. .. Теплоэнергетика. — 1977. — № 4. —
С. 8-11.
6. Анисимов С. И. Действие излучения большой мощности
на металлы. — М.: Наука. 1970. — 272 с.
7. Анисимов С. И. Испарение металла под действием лазерного облучения .. .. Журн. эксперимент, техн, физики. —
1968. -'№ 54. - С. 339-342.
8. Коган М. II., Макашев II. К. О роли слоя Кнудсена в теории гетерогенных реакций и в течениях с реакциями на
поверхности < Изв. АН СССР. Механика жидкости п
газа. - 1971. - № 6. - С. 3-11.
9. Коган М. II. Динамика разреженного газа. — М.: Наука,
1967. - 192 с. '
10. Ребров А. К. Динамика расширения газа в вакуум ...
Вакуумные технологии п оборудование: Сб. докл. 4-го
Междунар, спмп. (Харьков. 23-27 апр. 2001 г). — Харьков. 2001. - С. 6-15.
11. Анисимов С. И., Рахматуллина А. X. Динамика расширения пара при испарении в вакуум ... Журн. эксперимент. техн, физики. — 1973. — 64, № 3. —
С. 869-876.
12. Шемля М. Разделение изотопов. — М.: Атомнздат,
1980. - 169 с.
13. Report on uranium isotope separation review Benedict M.. Berman A.. Biglliesen J. et al. — Oak Ridge.
1972. - 10 p.
14. Мунц E., Гамель Б. Эффекты разреженности в газах п
разделение изотопов Динамика разреженных газов
Под ред. В. П. Шндловского — М.: Мир, 1976. — 336 с.
15. Pat. 5.171,809 USA, ІсГ B05D 3 06. С23С 16 00. Evaporation method D. W. Skelly, M. R. Jackson — Publ.
12.12.1995. . '
16. Пат. 21807 Украина, IC16 C23C14 00. Способ высокоскоростного испарения металлов и сплавов с использованием ванны-посредника . Б. А. Мовчан, В. И. Топал,
А. В. Корж. - Опубл. 15.09.2001: Бюл. № 15.
17. Жаропрочность литейных никелевых сплавов п защита
их от окисления / Б. Е. Патон, Г. Б. Строганов,
С. Т. Кишкин п др. — Киев: Наук, думка, 1987. — 256 с.
18. Pat. 2,607,139 USA, IC12 BOID. Separation of gases from
mixtures . S. P. Dickens, C. A. Coghlan — Publ.
19.08.1952.
19. Боровков И. С., Санкович В. M. Сепарация бинарной газовой смеси в свободной струе, истекающей в вакуум //
Ученые зап. ЦАГИ. - 1970.'- 1, № 3. - С. 109-113.
20. Physical vapor deposition. — Berkeley. 1976. — 190 p.
21. Виллани С. Обогащение урана. — М.: Металлургия,
1983. - 354 с.
Эта статья в открытом доступе по
Creative Commons Attribution Non-Commercial 4.0
International (CC-BY-NC).