Сучасна електрометалургія, 2024, №01



2024 №01 (05)

DOI of Article 10.37434/sem2024.01.06

2024 №01 (01)

---

Сучасна електрометалургія, 2024, #1, 49-56 pages

Аналізування кремнію на вміст домішок оксигену, нітрогену і гідрогену

Р.В. Козін, О.М. Калинюк, А.М. Кібкало, М.М. Калинюк, О.Л. Пузрін

ІЕЗ ім. Є.О. Патона НАН України. 03150, м. Київ, вул. Казимира Малевича, 11. E-mail: office@paton.kiev.ua

Реферат
Представлено літературний огляд нових способів одержання полікристалічного і монокристалічного кремнію електронно-променевим та плазмовим плавленням, розроблених за останні 10–15 років. Наведено огляд літератури з визначення вмісту оксигену, нітрогену, гідрогену в кремнії. Розроблені експресні методики визначення вмісту оксигену в кремнії відновлювальним плавленням у графітовому тиглі в потоці гелію і наведені порівняння цих методик з інфрачервоною спектрометрією. Розроблені методики визначення вмісту гідрогену і нітрогену в кремнії. Бібліогр. 25, табл. 4, рис. 5.
Ключові слова: аналізування, кремній, оксиген, нітроген, гідроген

Отримано 04.12.2023
Отримано у переглянутому вигляді 18.12.2023
Прийнято 19.02.2024

Список літератури

1. Шаповалов В.А., Шейко И.В., Нікитенко Ю.А. и др. (2012) Проблемы получения чистого кремния для солнечной энергетики. Современная электрометаллургия, 3, 48–53.
2. Наумов А.В. (2006) Производство ф?тоэлектрических преобразователей и рынок ремниевого сырья в 2006– 2010 гг. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 4, 3–8.
3. Березос В.А, Ерохин А.Г. (2009) Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки. Современная электрометаллургия, 3, 29–31.
4. Бабич В.М., Блецкан М.І., Венгер Є.Ф. (1997) Кисень в монокристалах кремнію. Київ, Інтерпрес ЛТД.
5. Гасик М.И., Гасик М.М. (2011) Электротермия кремния. Днепропетровск, НМАУ.
6. Шаповалов В.А., Шейко И.В., Никитенко Ю.А. и др. (2012) Индукционная плавка и рафинирование кремния в секционном кристаллизаторе. Современная електрометаллургия, 4, 25–28.
7. Червоный И.Ф., Швец Е.Я., Егоров С.Г. (2006) Плавление кремния при вертикальной индукционной бестигельной зонной плавке. Современная електрометаллургия, 3, 27–29.
8. Тетельбаум Д.И., Зорин Е.И., Лисенкова Н.В. (2004) Аномальная растворимость азота в кремнии, сильно легированном бором. Физика и техника полупроводников, 38(7), 808–810.
9. Критская Т.В., Шварцман Л.Я. (2012) Эффект влияния азота на свойства кристаллического кремния полупроводниковой чистоты. Металлург, 3, 23–28.
10. Жавжаров Е.Л, Критская Т.В., Матюшин В.М., Чащинов Ю.М. (2013) Некоторые особенности поведения водорода в кристаллическом кремнии. Металургія, Наукові праці Запорізької державної інженерної академії, 30(2), 137–145.
11. Аснис А.Е., Лесной А.Б., Пискун Н.В. (2011) Рафинирование монокристаллов кремния при выращивании их способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки. Современная электрометаллургия, 3, 17–20.
12. Петров С.В. (2013) Плазменный процесс получения солнечного кремния. Современная электрометаллургия, 3, 37–44.
13. Лякишев Н.П., Банных О.А., Рыхлин Л.Л. (1996) Диаграммы состояния двойных металлических систем. Т. 1. Москва, Машиностроение.
14. (2007) SEMI MF 1188-1107: Test method for interstitial oxygen content of silicon by infrared absorption with short baseline.
15. Ковалев И.Д., Котерва Г.В., Гусев А.В. и др. (2008) Определение примесей кислорода и углерода в поликристаллическом кремнии методом ИК-спектроскопии. Журнал аналитической химии, 63, 274–278.
16. (2007) ASTM F 121-70 T: Method of test for interstitial atomic oxygen content by infrared absorption.
17. Gryse O.De, Vanmeerbeek P., Vanhellemont J., Clauws P. (2006) Infrared aanalysis of the precipitated oxide phase in silicon and germanium. J. Physica, B 376‒377, 113–116.
18. Gryse O.De, Clauws P., Van Landrut J. et al. (2002) Oxide phase determination in silicon using infrared spectroscopy and transmission electron microscopy techniques. J. Appl. Physics, 91(4), 2493–2498.
19. Вассерман А.М., Кунин Л.Л., Суровой Ю.Н. (1976) Определение газов в металлах. Москва, Наука.
20. Фирсов В.И., Шулепников М.Н. (1988) Современное состояние нейтронно-активационного метода анализа полупроводникового кремния. Журнал аналитической химии, 43(5), 773–785.
21. (1991) Application bulletin. LECO Corp., Form № 203-601-219, Oxygen in Solid Silicon, Jan.
22. Kaiser G., Schubert H. (1993) The determination of oxygen in Si3N4 powder. J. European Ceramic Society, 11b, 253–262.
23. (2018) O836 Si, Oxygen in Silicon. Form № 209-215-008, LECO Corp., 1–18.
24. Калинюк О.М., Козін Р.В., Калинюк М.М. та ін. (2023) Активне і пасивне підготування аналітичних зразків металів для визначення в них концентрацій оксигену, нітрогену, гідрогену. Сучасна електрометалургія, 4, 54–60. DOI: https://doi.org/10.37434/sem2023.04.07
25. Hultgren R., Orr R.I., Anderson P.D., Kelley K.K. (1963) Selected values of thermodinamic properties of metals and alloys. John Wiley and Sons, Inc. NY, Lodon.

---

Реклама в цьому номері:

---