| 2001 №02 (02) | 2001 №02 (04) |
Журнал «Проблемы специальной электрометаллургии», № 2, 2001 г., с. 11-14
Новый подход к получению микропористых материалов и покрытий электронно-лучевым испарением неорганических веществ
Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук
Международный центр электронно-лучевых технологий ИЭС им. Е. О. Патона НАН Украины, КиевРеферат
Изучены особенности формирования микропористых материалов и покрытий, конденсированных из паровой фазы. Предложен оригинальный метод их получения путем электронно-лучевого испарения и конденсации в вакууме неорганических веществ. Рассмотрен механизм формирования микро-пористых структур. Представлены результаты исследований микроструктуры микропористых конденсатов и покрытий ZrO2-Y2O3, Al2O3 и NiCoCrAlY с добавками NaCl.
The features of the EB-PVD microporous materials and coating forming were studied. The original method for its producing by EB-PVD of non-organic materials in vacuum was proposed. The mechanism of microporous structure forming is considered. The results of microstructure investigations of the microporous ггСЬ-УзОз, АІ2О3 and NiCoCrAlY condensates and
Ключевые слова: электронно-лучевое испарение и осаждение (EB-PVD); микропористые покрытия; диоксид циркония; оксид алюминия
Список литературы
1. Палатник Л. С., Черемский П. Г., Фукс М. Я. Поры в пленках. — М.: Энергоиздат, 1982. — 215 с.2. Черемский П. Г., Слезов В. В., Бетехтии В. И. Поры в твердом теле. — М.: Энергоатомиздат. 1990. — 375 с.
3. Мовчан Б. А. Неорганические материалы, осаждаемые из паровой фазы в вакууме Сучасне матеріалознавство XXI сторіччя. — Київ: Наук, думка. 1998. — С. 318 - 332.
4. Блок Ф. Е., Уикс К. Е. Термодинамические свойства 65 элементов, их окислов, галогенидов, карбидов и нитридов. — М.: Металлургия. 1965. — 240 с.
5. Свойства неорганических соединений: Справочник А. И. Ефимов, Л. П. Белорукова, И. В. Василькова, В. П. Чечев - Л.: Химия, 1983. - 390 с.
6. Сомов А. И., Тихоновский М. А. Эвтектические композиции. — М.: Металлургия. 1975. — 304 с.
7. Эллиот Р. Управление эвтектическим затвердеванием. — М.: Металлургия. 1987. — 352 с.
This article is licensed under a Creative Commons Attribution Non-Commercial 4.0 International (CC-BY-NC).