| 2004 №01 (03) | 2004 №01 (05) |
Журнал «Современная электрометаллургия», № 1, 2004 г., с. 19-21
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
О.П. Шаламберидзе, К.Г. Хаханашвили, Т.П. Ломая, А.В. Демчишин
Грузинский технический ун-т. ТбилисиИн-т электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины, Киев
Реферат
На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al2O3, ZrO2 и Y2O3 толщиной до 50мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механизм ихформирования в зависимости от скорости испарения и температуры конденсации.
Using experimental data about the phase composition of vacuum condensates A12O3, ZrO2 and Y2O3 of up to 50 pm, the possible reasons of stabilizing high-temperature modifications of examined oxides at room temperature are considered and a mechanism of their formation depending on the rate of evaporation and temperature of condensation is suggested.
Ключевые слова: вакуумные конденсаты; тугоплавкие оксиды; фазовый состав; нестехиометрическая структура; кристаллическая решетка
Список литературы
1. Исследование структуры и некоторых свойств конденсатов ZrO,. полученных электронно-лучевым испарением Б. А. Мовчан. Ф. Н. Тавадзе. М. Н. Окросашвплп и др. Пробл. спец, электрометаллургии. — 1978. — Вып. 9. - С. 78-84.2. Окросашвплп М. II., Тавадзе Ф. II., Шаламберидзе О. П. Исследование структуры и некоторых свойств конденсатов A12Os, полученных электронно-лучевым испарением .. .. Там же. -“С. 84-88. '
3. Исследование структуры и некоторых свойств вакуумных конденсатов оксида алюминия, полученных электроннолучевым испарением при высоких температурах подложки / К. Г. Хаханашвили, Ф. Н. Тавадзе. О. П. Шаламберндзе, Э. Р. Кутелня / / Пробл. спец, электрометаллургии. — 1987. — № 4. — С. 48-54.
4. Исследование структуры и некоторых свойств вакуумных конденсатов ZrO2, полученных электронно-лучевым испарением при высоких температурах подложки К. Г. Хаханашвнлн, Ф. Н. Тавадзе. О. П. Шаламберидзе и др. / / Там же. - № 1. - С. 30-37.
5. Структура и свойства вакуумных конденсатов оксида иттрия. полученных электронно-лучевым испарением К. Г. Хаханашвили, Ф. Н. Тавадзе, О. П. Шаламберидзе и др. .. .. Там же. - 1988. - № 2. - С. 46-50.
6. Палатник Л. С., Фукс М. Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура тонких пленок. — М.: Наука, 1972. - 320 с. “ “ '
7. Постников В. С. Мнкрометаллургня и перспективы ее развития .. .. Физика и химия обработки материалов. — 1977. - № 1. - С. 53-66.
8. Исследование влияния отжига на структурные и оптические свойства пленок двуокиси циркония / В. В. Клячковская, В. И. Хнтрова, С. И. Сагитов, С. А. Семплетов .. .. Кристаллография. — 1980. — 25, № 5. — С. 1107-1109.
9. Коллонг Р. Нестехнометрня. — М.: Мир, 1974. — 288 с.
10. Палатник Л. С., Сорокин В. К. Основы пленочного полупроводникового материаловедения. — М.: Энергия, 1973. - 296 с.
11. Termodynamic study of Al2О3 using a mass spectrometer / J. Drowart, G. De Maria, R. P. Burns, M. G. Inghram // J. of Chemical Physics. - 1960. - 32, N5. - P. 1366-1372.
12. Куликов И. С. Термодинамика оксидов. — М.: Металлургия. 1986. — 344 с.
This article is licensed under a Creative Commons Attribution Non-Commercial 4.0 International (CC-BY-NC).