Современная электрометаллургия, 2009, №03



2009 №03 (05)

2009 №03 (07)

---

«Современная электрометаллургия», 2009, № 3, с. 29-31
 
РАФИНИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ СПОСОБОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ПЛАВКИ
 
Авторы
В. А. Березос, А. Г. Ерохин
Институт электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины. E-mail: office@paton.kiev.ua
 
Реферат
Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей.
 
Experiment on silicon refining was made using the method of electron beam melting of impurities. The content of impurities was measured in samples of silicon before and after EBM in unit INA-3 by the method of mass spectrometry of secondary post-ionized neutral particles. It is shown that the electron beam remelting can be a rather effective method of silicon refining from impurities.
 
Ключевые слова: кремний; примеси; рафинирование; электронно-лучевой переплав
 
Поступила 06.04 2009
Опубликовано 07.08.2009
 
1. Полупроводниковый кремний: Теория, технология производства / Ю. Н. Таран, В. З. Куцова, И. Ф. Червоный и др. – Запорожье: ЗГИА, 2004. – 344 с.
2. Наумов А. В. Производство фотоэлектрических преобразователей и рынок кремниевого сырья в 2006—2010 гг. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2006. – № 4. – С. 3—8.
3. Электронно-лучевая плавка / Б. Е. Патон, Н. П. Тригуб, Д. А. Козлитин и др. – Киев: Наук. думка, 1997. – 265 с.
4. Зонная плавка / Под ред. В. Н. Вигдоровича: Сб. науч. тр. – М.: Мир, 1970. – 366 с.
5. Способы получения особо чистых неорганических веществ / Б. Д. Степин, И. Г. Горштейн, Г. З. Блюм и др. – Л.:Химия, 1969. – 480 с.