Современная электрометаллургия, 2009, №03



2009 №03 (08)

2009 №03 (10)

---

«Современная электрометаллургия», 2009, № 3, с. 40-42
 
МОДИФИЦИРОВАННАЯ ВАКУУМНО-ДУГОВАЯ УСТАНОВКА «БУЛАТ-3Т»
 
Авторы
А. В. Демчишин, В. А. Миченко, Г. А. Автономов, О. A. Токарев
Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича, НАН Украины, Киев
 
Реферат
Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных покрытий на длинномерные изделия и формирования многослойных конденсатов с микро- и наноструктурой общей толщиной до 100 мкм и больше.
 
Data are presented as regards to changes made in the design of vacuum-arc evaporators of metals, electrical diagram of drive of substrates rotation, pumping equipment of the installation and improvement of protection of flanges, viewing window systems from heat loads to provide the deposition of functional coatings on long products and formation of multi-layer condensates with a micro- and nanostructure of total thickness of up to 100 ?m and higher.
 
Ключевые слова: вакуумная дуга; торцевой цилиндрический катод; планарный катод; привод вращения подложек; реле времени; многослойное покрыти
 
Поступила 03.02.2009
Опубликовано 07.08.2009
 
1. Электродуговой испаритель металлов с магнитным удержанием катодного пятна / Л. П. Саблев, Ю. И. Долотов, Р. И. Ступак, В. А. Осипов // Приборы и техника экспериментов. – 1976. – № 4. – С. 247—249.
2. Структура и свойства покрытий из Ti, Ti₃₆Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения / А. В. Демчишин, В. С. Голтвяница, С. К. Голтвяница и др. // Современ. электрометаллургия. – 2009. – № 2. – С. 42—47.