Eng
Ukr
Rus
Печать
2011 №04 (03) 2011 №04 (05)

«Современная электрометаллургия», 2011, № 4, c. 12-13
 
ОЧИСТКА КРЕМНИЯ ОТ ФОНОВЫХ И ЛЕГИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКЕ

Авторы
Е. А. Аснис, Н. В. Пискун, И. И. Статкевич
Инcтитут электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины. E-mail: office@paton.kiev.ua
 
Реферат
Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки.
 
Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background and alloying impurities in silicon single crystals produced by electron beam crucibleless zonal melting.
 
Ключевые слова: электронно-лучевая зонная плавка; вакуум; кремний; гелий; кислород; фосфор
 
Поступила 23.03.2011
Опубликовано 25.11.2011
 
1. Получение сверхчистых объемных полупроводниковых материалов в условиях космического вакуума / Б. Е. Патон, Е. А. Аснис, С. П. Заболотин и др. // Космічна наука і технологія. – 2003. – 9, № 5/6. – С. 30—32.
2. Пфанн В. Зонная плавка. – М: Мир, 1970. – 368 с.
3. Мультикристаллический кремний для солнечной энергетики / А. И. Непомнящих, В. П. Еремин, Б. А. Красин и др. // Материалы электронной техники. – 2002. – № 4. – C. 16—24.
4. Stoner D. R., Lessman G. G. Measurement and Control of Weld Chamber Atmospheres // Weld. J. – 1965. – 44, № 8. – P. 337—346.
>