| 2017 №02 (07) |
DOI of Article 10.15407/sem2017.02.08 |
2017 №02 (01) |
Современная электрометаллургия, 2017, #2, 53-58 pages
Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
Ю. А. Курапов, Л. А. Крушинская, В. В. Борецкий
Институт электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины. 03680, г. Киев-150, ул. Казимира Малевича, 11. E-mail: office@paton.kiev.ua
Abstract
Приведены результаты исследования морфологии поверхности и тонкой структуры толстых (25…50 мкм) пленок углерода, полученных из паровой фазы с использованием электронно-лучевой технологии испарения графита и последующей конденсации в вакууме. Исследованы структуры углеродных пленок в широком интервале температур конденсации 100...1500 оС. Комплексные исследования методами растровой и просвечивающей электронных микроскопий показали, что основное влияние на формирование углеродного конденсата оказывает температура подложки (конденсации). С ростом температуры конденсации размерные характеристики кристаллитов, образующих углеродную пленку, увеличиваются от 2...4 до 20...80 мкм. Установлено, что внутренняя структура кристаллитов во всем исследуемом температурном интервале остается практически неизменной и состоит из агрегатов размером 0,015...0,030 мкм, которые имеют нанорозмерную структуру и состоят из кластеров размером 3...6 нм. Библиогр. 12, ил. 6.
Ключевые слова: электронно-лучевое осаждение; углерод; морфология поверхности; микроструктура; наноматериалы
Received: 18.05.17
Published: 27.06.17
Читати реферат українською
Морфологія поверхні та тонка структура товстих вуглецевих плівок, що отримані електронно-променевим випаровуванням
Ю. А. Курапов, Л. А. Крушинська, В. В. Борецький
Інститут електрозварювання ім. Є. О. Патона НАН України. 03680, м. Київ-150, вул. Казимира Малевича, 11. E-mail: office@paton.kiev.ua
Приведено результати дослідження морфології поверхні та тонкої структури товстих (25…50 мкм) плівок вуглецю, отриманих із парової фази з використанням електронно-променевої технології випаровування графіту з наступною конденсацією у вакуумі. Досліджено структури вуглецевих плівок у широкому інтервалі температур конденсації 100…1500 °С. Комплексні дослідження методами растрової та просвітлювальної електронних мікроскопій показали, що основний вплив на формування вуглецевого конденсату має температура підкладки (конденсації). З ростом температури конденсації розмірні характеристики кристалітів, що утворюють вуглецеву плівку, збільшуються від 2…4 до 20…80 мкм. Встановлено, що внутрішня структура кристалітів у всьому досліджуваному температурному інтервалі лишається практично незмінною та складається з агрегатів розміром 0,015…0,030 мкм, які мають нанорозмірну структуру та складаються із кластерів розміром 3…6 нм. Бібліогр. 12, іл. 6.
Ключові слова: електронно-променеве осадження; вуглець; морфологія поверхні; мікроструктура; наноматеріали
References
- Елецкий А. В. (1997) Углеродные нанотрубки. Успехи физических наук, 9, 94–972.
- Сидоров Л. Н., Коробов М. В., Журавлева Л. В. (1985) Масс-спектральные термодинамические исследования. Москва, Издательство МГУ.
- Сидоров Л. Н. (1998) Газовые кластеры и фулерены. Соровский образовательный журнал, 3, 65–71.
- Rohlfing E. A., Cox D. M., Kaldor A. (1984) Chem. Phys., 81, 3322.
- Kroto H. W., Health J. R., O?Brien S. C. et al. (1985) Nature, 318, 162.
- Шпак А. П., Черемской П. Г., Куницкий Ю. Ф., Соболь О. В. (2005) Кластерные и наноструктурные материалы. Т. 3. Киев, Академпериодика.
Вартість передплати/замовлення на журнали або окремі статті
| журнал/валюта | річний комплект друкований |
1 прим. друкований |
1 прим. електронний |
одна стаття |
| AS/UAH | 1800 грн. | 300 грн. | 300 грн. | 150 грн. |
| AS/USD | 192 $ | 32 $ | 26 $ | 16 $ |
| AS/EUR | 180 € | 30 € | 25 € | 15 € |
| TPWJ/UAH | 7200 грн. | 600 грн. | 600 грн. | 280 грн. |
| TPWJ/USD | 384 $ | 32 $ | 26 $ | 16 $ |
| TPWJ/EUR | 360 € | 30 € | 25 € | 15 € |
| SEM/UAH | 1200 грн. | 300 грн. | 300 грн. | 150 грн. |
| SEM/USD | 128 $ | 32 $ | 26 $ | 16 $ |
| SEM/EUR | 120 € | 30 € | 25 € | 15 € |
| TDNK/UAH | 1200 грн. | 300 грн. | 300 грн. | 150 грн. |
| TDNK/USD | 128 $ | 32 $ | 26 $ | 16 $ |
| TDNK/EUR | 120 € | 30 € | 25 € | 15 € |
AS = «Автоматичне зварювання» - 6 накладів на рік;
TPWJ = «PATON WELDING JOURNAL» - 12 накладів на рік;
SEM = «Сучасна електрометалургія» - 4 наклада на рік;
TDNK = «Технічна діагностика та неруйнівний контроль» - 4 наклада на рік.