Eng
Ukr
Rus
Печать
2017 №02 (07) DOI of Article
10.15407/sem2017.02.08
2017 №02 (01)

Современная электрометаллургия 2017 #02
SEM, 2017, #2, 53-58 pages
 
Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
 
Journal                    Современная электрометаллургия
Publisher                 International Association «Welding»
ISSN                      2415-8445 (print)
Issue                       № 2, 2017 (June)
Pages                      53-58
 
 
Authors
Ю. А. Курапов, Л. А. Крушинская, В. В. Борецкий
Институт электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины. 03680, г. Киев-150, ул. Казимира Малевича, 11. E-mail: office@paton.kiev.ua
 
Abstract
Приведены результаты исследования морфологии поверхности и тонкой структуры толстых (25…50 мкм) пленок углерода, полученных из паровой фазы с использованием электронно-лучевой технологии испарения графита и последующей конденсации в вакууме. Исследованы структуры углеродных пленок в широком интервале температур конденсации 100...1500 оС. Комплексные исследования методами растровой и просвечивающей электронных микроскопий показали, что основное влияние на формирование углеродного конденсата оказывает температура подложки (конденсации). С ростом температуры конденсации размерные характеристики кристаллитов, образующих углеродную пленку, увеличиваются от 2...4 до 20...80 мкм. Установлено, что внутренняя структура кристаллитов во всем исследуемом температурном интервале остается практически неизменной и состоит из агрегатов размером 0,015...0,030 мкм, которые имеют нанорозмерную структуру и состоят из кластеров размером 3...6 нм. Библиогр. 12, ил. 6.
 
Ключевые слова: электронно-лучевое осаждение; углерод; морфология поверхности; микроструктура; наноматериалы
 
Received:                18.05.17
Published:               27.06.17

Читати реферат українською


Морфологія поверхні та тонка структура товстих вуглецевих плівок, що отримані електронно-променевим випаровуванням
Ю. А. Курапов, Л. А. Крушинська, В. В. Борецький
Інститут електрозварювання ім. Є. О. Патона НАН України. 03680, м. Київ-150, вул. Казимира Малевича, 11. E-mail: office@paton.kiev.ua
Приведено результати дослідження морфології поверхні та тонкої структури товстих (25…50 мкм) плівок вуглецю, отриманих із парової фази з використанням електронно-променевої технології випаровування графіту з наступною конденсацією у вакуумі. Досліджено структури вуглецевих плівок у широкому інтервалі температур конденсації 100…1500 °С. Комплексні дослідження методами растрової та просвітлювальної електронних мікроскопій показали, що основний вплив на формування вуглецевого конденсату має температура підкладки (конденсації). З ростом температури конденсації розмірні характеристики кристалітів, що утворюють вуглецеву плівку, збільшуються від 2…4 до 20…80 мкм. Встановлено, що внутрішня структура кристалітів у всьому досліджуваному температурному інтервалі лишається практично незмінною та складається з агрегатів розміром 0,015…0,030 мкм, які мають нанорозмірну структуру та складаються із кластерів розміром 3…6 нм. Бібліогр. 12, іл. 6.
Ключові слова: електронно-променеве осадження; вуглець; морфологія поверхні; мікроструктура; наноматеріали


References
 
  1. Елецкий А. В. (1997) Углеродные нанотрубки. Успехи физических наук, 9, 94–972.
  2. Сидоров Л. Н., Коробов М. В., Журавлева Л. В. (1985) Масс-спектральные термодинамические исследования. Москва, Издательство МГУ.
  3. Сидоров Л. Н. (1998) Газовые кластеры и фулерены. Соровский образовательный журнал, 3, 65–71.
  4. Rohlfing E. A., Cox D. M., Kaldor A. (1984) Chem. Phys., 81, 3322.
  5. Kroto H. W., Health J. R., O?Brien S. C. et al. (1985) Nature, 318, 162.
  6. Шпак А. П., Черемской П. Г., Куницкий Ю. Ф., Соболь О. В. (2005) Кластерные и наноструктурные материалы. Т. 3. Киев, Академпериодика.

>