Современная электрометаллургия, 2019, #2, 22-26 pages
Journal Современная электрометаллургия
Publisher International Association «Welding»
ISSN 2415-8445 (print)
Issue № 2, 2019 (June)
Pages 22-26
Электронно-лучевое испарение железа и конденсация его отраженного парового потока
Г.Г. Дидикин, А.К. Петренко
ИЭС им. Е.О. Патона НАН Украины.
03150, г. Киев, ул. Казимира Малевича, 11. E-mail: office@paton-icebt.kiev.ua
Рассмотрен технологический вариант электронно-лучевого испарения и управляемого осаждения направленного атомно-молекулярного парового потока (посредством его отражения нагретой поверхностью рефлектора) на плоскую поверхность. На примере покрытий железом определен удельный привес образцов, расположенных на горизонтальной поверхности в зависимости от их удаления от оси испарителя. Рассчитан КПД процесса осаждения металла на горизонтальной поверхности вокруг испарителя в зависимости от размера рефлектора, угла его наклона к горизонту, его удаления от испарителя и от скорости испарения металла. Показано, что наибольший КПД процесса осаждения парового потока металла достигается при горизонтальном расположении рефлектора с увеличением площади его отражающей поверхности и скорости испарения металла. Указаны расстояния от испарителя до рефлектора при максимальном КПД процесса. Библиогр. 4, табл. 2, рис. 5.
Ключевые слова: электронно-лучевое испарение и конденсация; коэффициент отражения пара; рефлектор; паровой поток; железо
Received: 04.04.19
Published: 13.06.19
Список литературы
1. Палатник Л.С., Грищенко Ю.И. (1967) Рефлектор для конденсации пленок с заданным распределением толщины. Заводская лаборатория, 7, 774–776.
2. Мовчан Б.А., Ушакова С.Е., Ляхов В.И. (1980) Исследование процессов реиспарения при вакуумной конденсации меди, никеля, железа и титана. Пробл. спец. электрометаллургии, 13, 66–69.
3. Мовчан Б.А., Ушакова С.Е., Ляхов В.И. (1981) Исследование отражения паровых потоков никеля и меди от нагретых поверхностей. Там же, 15, 49–52.
4. Ляхов В.И., Мовчан Б.А. (1981) Получение двустороннего никелевого покрытия на стальной ленте при электронно-лучевом испарении и конденсации с помощью вогнутого отражателя. Там же, 16, 42–43.