Сучасна електрометалургія, 2019, #2, 22-26 pages
Journal Сучасна електрометалургія
Publisher International Association «Welding»
ISSN 2415-8445 (print)
Issue № 2, 2019 (June)
Pages 22-26
Електронно-променеве випаровування заліза та конденсація його відбитого парового потоку
Г.Г. Дідікін, О.К. Петренко
ІЕЗ ім. Є.О. Патона НАН України.
03150, м. Київ, вул. Казимира Малевича, 11. E-mail: office@paton-icebt.kiev.ua
Розглянуто технологічний варіант електронно-променевого випаровування і керованого осадження спрямованого атомно-молекулярного парового потоку (за допомогою його відображення нагрітою поверхнею рефлектора) на плоску поверхню. На прикладі покриттів залізом визначений питомий приріст зразків, розташованих на горизонтальній поверхні в залежності від їх віддалення від осі випарника. Розраховано ККД процесу осадження металу на горизонтальній поверхні навколо випарника в залежності від розміру рефлектора, кута його нахилу до горизонту, його віддалення від випарника і від швидкості випаровування металу. Показано, що найбільший ККД процесу осадження парового потоку металу досягається при горизонтальному розташуванні рефлектора зі збільшенням площі його поверхні, що відбиває, і швидкості випаровування металу. Вказано відстані від випарника до рефлектора при максимальному ККД процесу. Библіогр. 4, табл. 2, рис. 5.
Ключові слова: електронно-променеве випаровування і конденсація; коефіцієнт відбиття пара; рефлектор; паровий потік; залізо
Received: 04.04.19
Published: 13.06.19
Література
1. Палатник Л.С., Грищенко Ю.И. (1967) Рефлектор для конденсации пленок с заданным распределением толщины. Заводская лаборатория, 7, 774–776.
2. Мовчан Б.А., Ушакова С.Е., Ляхов В.И. (1980) Исследование процессов реиспарения при вакуумной конденсации меди, никеля, железа и титана. Пробл. спец. электрометаллургии, 13, 66–69.
3. Мовчан Б.А., Ушакова С.Е., Ляхов В.И. (1981) Исследование отражения паровых потоков никеля и меди от нагретых поверхностей. Там же, 15, 49–52.
4. Ляхов В.И., Мовчан Б.А. (1981) Получение двустороннего никелевого покрытия на стальной ленте при электронно-лучевом испарении и конденсации с помощью вогнутого отражателя. Там же, 16, 42–43.